• 반도체소자 및 패키징 연구실
    edit이름
    박준영 전자공학부open_in_new
    list_alt전공분야
    반도체소자, 반도체공정, 반도체소자 및 신뢰성
    camera키워드
    receipt_long주요연구 분야

    • 반도체소자 및 신뢰성개선 연구

      1. 반도체소자 제작

          - Planar MOSFET 반도체소자 제작 및 신뢰성분석

          - GaO 차량용 반도체소자 제작

      2. 차세대 반도체공정 기술개발

          - High-pressure deuterium (HPD) annealing

          - Rapid thermal oxidation (RTO)

          - Electrothermal annealing (ETA)

      3. 차세대 반도체소자 시뮬레이션

          - Thermal simulation (self-heating)

          - Process simulation (Synopsis)

          - Device simulation (Synopsis)

          - Mechanical stress simulation (COMSOL)

          - 메모리소자 (3D V-NAND) 및 비메모리소자 (MBCFET) 시뮬레이션

      4. 반도체소자 측정 및 분석

          - DC 분석 (I-V, high temperature)

          - AC 분석 (C-V, low frequency noise)

          - 고해상도 thermal 분석 (thermal reflectance microscope)

  • 책임 기술 정보 ( 7 )
  • 주요논문
  • 연구실적
논문제목 학술지명 발간연도
Impact of Post-Metal Annealing with Deuterium or Nitrogen for Curing a Gate Dielectric Using Joule Heat Driven by Punch-Through Current IEEE Electron Dev. Lett. 2021
Curing of Aged Gate Dielectric by the Self-Heating Effect in MOSFETs IEEE Trans. Electron Dev. 2020
Suppression of Self-Heating Effects in 3-D V-NAND Flash Memory Using a Plugged Pillar-Shaped Heat Sink IEEE Electron Dev. Lett. 2019
Investigation of Self-Heating Effects in Gate-All-Around MOSFETs with Vertically Stacked Multiple Silicon Nanowire Channels IEEE Trans. Electron Dev. 2017
연구과제명 지원기관 연구기간
내고장성 (Fault-Tolerant) 차량용 반도체 소자기술 개발 한국연구재단 2021-2024
초극한 환경에서의 안정적 반도체 시스템 구동을 위한 자가복구 플랫폼 기술 개발 한국연구재단 2017-2020

산학협력 희망분야

  • 1. 전공정 또는 후공정 2D (3D) 시뮬레이션 진행
  • 2. 국내외 특허 공동출원
  • 3. 전공정 웨이퍼 또는 후공정 패키징 측정분석 (전기적특성, 발열특성, 물성 등)

보유 연구 장비

보유 연구장비
  • Mask Aligner.png
    • Mask Aligner
  • Rapid Thermal Oxidation (RTO).png
    • Rapid Thermal Oxidation (RTO)
  • High-Pressure Deuterium Annealing (HPD).png
    • High-Pressure Deuterium Annealing (HPD)
  • Probe Station.png
    • Probe Station

개발 시제품

  • 차량용 반도체소자.png
    • 차량용 반도체소자
  • 차세대 반도체소자 3D 시뮬레이션결과.png
    • 차세대 반도체소자 3D 시뮬레이션결과
  • 반도체공정 분석결과.png
    • 반도체공정 분석결과
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    • 반도체공정 분석결과(2)

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